纳米复合物薄膜研究，薄膜材料制备，电极材料制备，主要设备包括电子溅射镀膜仪(AUTO-500)，原子层可控薄膜制备系统(SI ALD)和超声波喷涂装置(PRISM 300)。
真空镀膜系统
原子层沉积系统
超声波喷涂系统
